光柵測量技術(shù)是以光柵相對移動所形成的莫爾條紋信號為基礎(chǔ)的,對此信號進行一系列的處理,即可獲得光柵相對移動的位移量。將光柵位移傳感器與微電子技術(shù)相結(jié)合,進行線性位移量的測量,以實現(xiàn)較高的測量精度。而且可以拆開柵尺和讀數(shù)頭光柵位移傳感器包括以下幾部分:光柵;光柵光學(xué)組成。光柵光學(xué)系統(tǒng)的作用是形成莫爾條紋;光電接收系統(tǒng)。光電接收系統(tǒng)是由光敏元件組成,他將莫爾條紋的光學(xué)信號轉(zhuǎn)換成電信號,本系統(tǒng)采用的光敏元件是4個硅光電池。
擴展資料:細分與辨向電路細分電路為記錄光柵上移過的條紋數(shù)目和判斷光柵的移動率等,傳感器中采用4極硅光電池來接收莫爾條紋信號。調(diào)整莫爾條紋的寬度B,使他正好與4個硅光電池的寬度相同。則可直接獲得在相位上依次相差90的4路信號,即進行4倍細分。辨向電路位移除了有大小的屬性外,還具有方向的屬性。為了辨別標(biāo)尺光柵位移的方向,僅靠一個光敏元件輸出一個信號是不行的。必須有2個以上的信號根據(jù)他們的相位不同來判斷位移方向。因此,本設(shè)計采用的是4個硅光電池來接收莫爾條紋信號,則輸出的4路信號在相位上依次相差90,利用這種特點設(shè)計的辨向電路的。